掃描式電子顯微鏡(SEM)是一種利用高能電子束掃描樣品表面，通過(guò)檢測(cè)電子與樣品相互作用產(chǎn)生的信號(hào)來(lái)獲取樣品形貌、成分等信息的高分辨率顯微技術(shù)。
1.電子束發(fā)射與聚焦：SEM的電子源通常為熱發(fā)射槍或場(chǎng)發(fā)射槍，電子在加速電壓作用下從電子槍發(fā)射，形成電子束。該電子束經(jīng)過(guò)2-3個(gè)電子透鏡(如電磁透鏡)的聚焦，被壓縮成直徑小的高能束流，可達(dá)到納米級(jí)甚至更細(xì)的尺度，從而確保對(duì)樣品表面的高精度掃描。
2.電子束掃描與信號(hào)激發(fā)：聚焦后的電子束在掃描線圈的控制下，按特定路徑在樣品表面進(jìn)行逐行掃描。掃描過(guò)程中，電子束與樣品表層原子發(fā)生相互作用，產(chǎn)生多種物理信號(hào)，主要包括二次電子、背散射電子和特征X射線等。
3.信號(hào)采集與圖像形成：探測(cè)器負(fù)責(zé)捕獲這些物理信號(hào)并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，隨后經(jīng)放大器放大，輸送到顯像管的柵極。顯像管中的電子束強(qiáng)度會(huì)隨接收到的信號(hào)強(qiáng)度變化，進(jìn)而同步調(diào)制熒光屏上對(duì)應(yīng)位置的亮度。由于電子束在樣品表面的掃描位置與顯像管熒光屏上的電子束位置一一對(duì)應(yīng)，在熒光屏上呈現(xiàn)出與樣品表面特征相符的圖像。
4.化學(xué)成分分析：特征X射線的能量因原子種類不同而存在差異，通過(guò)對(duì)特征X射線進(jìn)行能譜分析，能夠確定樣品中的元素種類以及各元素的含量。
掃描式電子顯微鏡的使用注意事項(xiàng)：
1.安全操作
-遵守實(shí)驗(yàn)室安全規(guī)定，佩戴適當(dāng)?shù)膫€(gè)人防護(hù)裝備如手套、護(hù)目鏡等。
-在進(jìn)行任何維護(hù)或調(diào)整前務(wù)必?cái)嚅_電源并確保高壓系統(tǒng)已降至安全水平。
2.樣品要求
-嚴(yán)禁測(cè)試潮濕、易揮發(fā)、磁性強(qiáng)、松散粉末狀、腐蝕性以及含有機(jī)溶劑等特殊樣品。若確需測(cè)試非常規(guī)樣品，請(qǐng)?zhí)崆奥?lián)系設(shè)備工程師咨詢確認(rèn)后再預(yù)約送樣。
-同一次裝入掃描電鏡的樣品，高度差不要超過(guò)1.5mm。
3.環(huán)境控制
-保持實(shí)驗(yàn)室潔凈無(wú)塵以減少灰塵顆粒進(jìn)入儀器內(nèi)部影響性能。
-避免直射光線照射到樣品上以減少背景噪音干擾。
